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PET/PVA二層フィルム「SOシート」


SOシートは、PVAとPETを二層化したフィルムです。PVA層上に各種印刷、コーティング等により作製した機能性パターン(レジスト、金属、機能性樹脂等) の転写基材として活用できます。PETとの組合せにより、PVA単体のフィルムよりも寸法安定性が増し、困難であった微細構造の形状維持が可能となりました。3次元リソグラフィ、犠牲層・自立膜の取り出し、工程内の一時保護などの「水に溶ける」プロセスシートとしての応用が期待されています。

特長

■ 剥離可能な二層構造
  水溶性層と支持層の分離が可能です。
■ 高い寸法安定性
  支持層によりPVA の吸放湿による膨潤・収縮による
  寸法変化を抑制します。
■ 平滑、高透明性
  光線透過率90%( 可視光)、PVA 層の表面粗さ Ra≈ 30 nm
■ 高い印刷適性
  濡れ張力58mN/m 以上

機能性パターンの作製

機能性パターンの転写

機能膜作成用キャリア基材

工程内における一時保護

「SOシート」を利用した三次元パターニングへの応用 【 特許出願技術 】

― 豊田工業大学工学部マイクロメカトロニクス研究室 佐々木 実 教授との共同開発 ―
既存フォトリソグラフィ装置を利用した三次元パターンニングが可能!!

図: SOシートを用いてレンズ局面に格子パターン形成
左上:従来法の課題、右上:SOシートを用いる利点、下:格子付きレンズ
立体配線、非平面機械部品の表面加工(潤滑、流体抵抗)、磁気センサ(微細コイル)等への展開が期待できます。
 

SOシートに関するお問い合わせ先

当製品に関するお問い合わせは、
下記メールアドレスまで直接ご連絡ください。

株式会社アイセロ 商品開発本部
住所 : 〒441-1115 愛知県豊橋市石巻本町字越川45番地
TEL : 0532-88-4618
E-Mail : c-d@aicello.co.jp




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